Was ist reagierende Ionenradierung?

Reagierende Ionenradierung ist- eine Art Technologie verwendet im microfabrication, um Substanzen von den Oblaten zu entfernen. Oblaten sind die kleinen Halbleiterstreifen, die in der Kreation von microdevices benutzt werden, und reagierende Ionenradierungstechnologie stellt sicher, dass sie von den Materialien frei bleiben, die ihre Wirksamkeit negativ auswirken konnten. Reagierende Ionenradierung microfabrication Verfahren werden in besonders entworfene Vorrichtungen geleitet, die die ohne festlegen die Vollständigkeit der Oblate zu opfern entfernt zu werden Substanz.

Die allgemeinste reagierende Ionenradierungsvorrichtung wird von einem Zylinder-geformten Vakuumfach mit einem lokalisierten Halter für die Oblate enthalten, die zum unteren Teil des Raumes angebracht wird. Es gibt kleine Löcher in der Oberseite des Behälters, die innen Gas lassen. Verschiedene Arten der Gase werden in der reagierenden Ionenradierung, abhängig von den einzelnen Anforderungen einer bestimmten Oblate benutzt.

Induktiv verbundenes Plasma ist ein anderer Modus der reagierenden Ionenradierung. Mit dieser Vorrichtung wird das Plasma durch ein hoch spezialisiertes Magnetfeld in Handarbeit gemacht. Es ist nicht selten, hohe Stufen der Plasmakonzentration mit dieser Methode zu erreichen.

Reagierendes Ionenradierungsplasma ist- eine Tatsache, die chemisch reagierend ist und durch das Standard-elektromagnetische Feld Rf-(Hochfrequenz) verursacht wird. Ionen innerhalb des Plasmas haben eine ungewöhnlich hohe Menge Energie. Diese Ionen reagieren zum Rückstand auf einer Oblate und arbeiten, um die Defekte auf seiner Oberfläche zu entfernen.

Der chemische Prozess, der in reagierende Ionenradierung mit einbezogen wird, ist- ein vielfältiges. Zuerst wird ein erhebliches elektromagnetisches Feld zum Oblateraum geschickt. Das Feld oszilliert dann, das die Moleküle des Gases im Behälter ionisiert und ihre Elektronen entfernt. Dieses ergibt die Kreation des Plasmas.

Reagierende Ionenradierung ist- eine Art ausgedehntere Kategorie microfabrication Abbau benannte trockene Radierung. Sie benutzt keine Flüssigkeiten im Abbauprozeß, anders als nasse Radierung, die verschiedene Säuren und Chemikalien verwendet, um den gleichen Zweck zu erreichen. Da nasse Radierung die Unterbietung zur Oblate, sowie bedeutende Mengen des giftigen Abfallstoffs, der trockenen Radierung wird eine populärere Methode des Oblatechemikalienabbaus verursacht.

Eine der Hauptbeeinträchtigungen der reagierenden Ionenradierung wird gekostet. Verglichen mit nassen Radierungstechniken, liegt sie am benötigten Spezialgerät viel teureres. Jedoch, Prozesse der trockenen Radierung im Allgemeinen und reagierende Ionenradierung weit in erreichenden heikleren Bereichen einer Oblate wirkungsvoller insbesondere sein-. Sich zu erinnern ist wichtig, obwohl, dass einige Jobs nicht das minuziöse Detail erfordern, das von der reagierenden Ionenradierung bereitgestellt wird, und nasse Radierungsverfahren die Aufgabe als effektiv gerade erfüllen können.